亚美体育APP下载地址温度控制方法

　　亚美体育APP下载地址温度控制方法（19）中华人民共和国国家知识产权局（12）发明专利申请（10）申请公布号CN110389607A（43）申请公布日2019.10.29（21）申请号CN1.6（22）申请日2019.04.19（71）申请人东京毅力科创株式会社地址日本东京都（72）发明人（74）专利代理机构北京尚诚知识产权代理有限公司代理人（51）Int.CI权利要求说明书说明书（54）发明名称温度控制方法（57）摘要本发明提供一种能够将电容耦合型的等离子体处理装置的上部电极冷却并且使该上部电极的温度在短时间上升的温度控制方法。一实施方式的温度控制方法包括冷却上部电极的步骤和使上部电极的温度上升的步骤。在上部电极内形成有具有入口和出口的流路。上部电极构成蒸发器。在流路的出口和入口之间依次连接有压缩机亚美体育官方app下载、冷凝器和膨胀阀。在压缩机的输出端与入口之间以绕过冷凝器和膨胀阀的方式连接有分流阀。在冷却上部电极的步骤中，经由压缩机、冷凝器和膨胀阀将制冷剂供给到流路。在使上部电极的温度上升的步骤中，打开分流阀并且加热上部电极。法律状态法律状态公告日法律状态信息法律状态2019-10-29公开公开权利要求说明书温度控制方法的权利要求说明书内容是....请下载后查看说明书温度控制方法的说明书内容是....请下载后查看