亚美体育app官方网站温度控制外文翻译

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　　1、 湖南文理学院芙蓉学院 毕业设计 (论文 )外文资料翻译 学 院 ： 机械工程 学院 专 业： 机械设计制造及其自动化 姓 名： 邓 斐 学 号： 07100202 指导老师 ： 张世安 附 件： 指导教师评语： 签名： 年 月 日 附件 1：外文资料翻译译文 光刻投影镜头多闭环温度控制系统 聂宏飞 1，李 晓 平 1， ，何 艳 2。 1国家重点实验室，数字制造装备与工艺，华中科技大学 ,武汉 430074， 中国大学 2天华 学院，上海师范大学，上海 201815，中国 2008年 5月 27日 收稿 ； 2009年 1月 8日 修 订； 2009年 1月 22日 定稿； 2009年 2月

　　2、 6日 电子 出 版 摘要： 图像质量是光学光刻工具的最重要指标之一， 尤其易 受温度 、 振动和投影镜头（ 染 的影响 。本地温度 控制的 传统方法更容易引入振动和污染， 因此研发多闭环 温度控制系统来控制 温度，并隔离振动和污染 的影响 。一个新的远程间接 温度 控制（ 案 ，提出了 利用 冷却水 循环完成对 嵌入温度 控制 单元（ 的 加热器和冷却器 用于控制 冷却水的温度 ，并且， L,以 避免震动和污染的影响。 一种包 含 一个 内 部 级联 控制 结构（ 一个外部 并行 串 联 控制 结构 （ 新 型 多 闭环 控制结构 被用来 防止大惯性， 多重迟滞 ， 和 一种非线、 算法应用，进一步提高收敛速度和控制过程 的 精度。不同的控制回路和算法的对比实验 被用来验证对控制性能的影响。 结果表明，精度达到 规格 的 多闭环温度控制系统收敛 率快 ，鲁棒性强 ，自我适应能力好。 该方法已成功地应用于光学光刻工具，制作了 临近尺寸 （ 100纳米的 模型 ，其 性能 令人满意。 关键词： 投影镜头，远程间接温度 串级控制结构，并行串 连 控制结构 ，非线 简 介 由于集成电路缩小，更小的临界尺寸（ 求，生产 过程 的控制越来越严格。作为最重要的制造 工艺 设备，先进的光学光刻工具需要更 严格 的微控制环境 1， 如严格控制其温度 亚美体育官方app下载、 洁净度 、

　　4、气压 、 湿度等 。 温度波动，特别是导致图像失真 和 平面图像转变，成为 了 光学光刻工具对图像质量影响的 一个 关键因素。投影镜头 (的 温度 精度要求一个光刻工具 在接近 制造 一个小于 100 另外 需要 敛 率 快 以降低光刻技术的所有权（ 的成本 . 然而，实现这些目标 是 一个很 大的挑战，因为加热器和冷却器 控制温度 要求操作远 离 , 否则其性能 将被它们的 振动和污染 所破坏 。另一个原因是， 包含数十个镜头 ， 会导致几个小时惯性，所以 并 需要 很长时间去调整适应 。 因此，一个 新的结构和控制算法 是 度 控制的必要和重要部分。 许多温度控制结构 已经被提出了。 著名

　　5、的经典 方法之一是被 广泛应用于 简单或低精度 温度控制 系统的 单闭环回路控制 结构 【 3】 。当被控对象变得更加复 杂或 产生分布式干扰 时， 串级控制结构（ 的 提出改善 了 精度和收敛 率 【 4， 5】 。预测 前馈控制结构已被证明具有更好的 滞后 系统性能。另一种有效的方法 ， 并行串级控制结构（ 也 开发了具有 延迟 分布 式干扰的系统 。但 是 上述使用方法，很难实现 制的 高精确度和 快 收敛 率 。 在此， 本文 提出了一种新的方法，即多 闭 环温度控制 系统，含有一个内部 文 大致分为四个 部分。 第一部分解释了一个 远程 间接温度控制方法的应用。 第二部分 是一个 多 闭环回路 温度控制结构 的分析。 第三部分，一个双进 双出非线性比例积分（ 法 的提出用来提

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